日本 SHINKO 材料 氧化铝陶瓷 静电卡盘
2026-05-23 17:09:30
admin
日本 SHINKO 材料 氧化铝陶瓷 静电卡盘
新兴设计的陶瓷静电夹头广泛应用于半导体晶圆工艺，如蚀刻和CVD设备。
神高提供高品质、低成本、短交期，并采用如陶瓷烧制和加工、组装和检验等稳定生产工艺的制造。
SHINKO的静电夹头满足客户的先进需求。
材料：氧化铝陶瓷（库仑力型和约翰森-拉赫贝克效应型）
尺寸：最大尺寸φ300毫米
陶瓷厚度：0.8~10.0毫米
工作温度：-20 ~ +200 °C
陶瓷表面：可用于刻槽、压花表面及可选表面粗糙度
