日本 NTK CERATEC ESC 材质：材质：Al2O3（氧化铝） 静电卡盘
2026-05-23 16:24:24
admin
日本 NTK CERATEC ESC 材质：材质：Al2O3（氧化铝） 静电卡盘
在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结 ，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。
运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。
静电卡盘（ESC）
【材质：Al2O3（氧化铝）】
采用层压技术实现极高的面内温度均一性。
通过使用高纯度的氧化铝可以降低金属污染。
在卤素气体等离子体环境下发挥出出色的耐久性。
