日本 NTK CERATEC ESC 材质：材质：材质：热喷涂Al2O3 静电卡盘

2026-05-23 16:25:33 admin

在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。

运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。

通过独自的氧化铝热喷涂技术可以形成致密的绝缘层。

与氧化铝板类型相比可以更低成本制作。

与价格便宜的薄膜类型相比耐久性能高。